Hệ thống chân không với bơm chân không VRD16 cho hệ thống CVD

I. Tổng quan

Hệ thống

(có thể bơm chân không trong lò ống lên 0,6Pa) bao gồm một mặt bích hút

(tự chế tạo) với giao diện KF25, phương pháp vách ngăn chân không cao, chân không kháng

đồng hồ đo, ống thổi, giá đỡ (tự chế), máy bơm chân không Kết nối ống tee tại

đầu ra mặt bích, kết nối silicon kháng với một đầu của đường ống ba chiều,

kết nối van flapper chân không cao với đầu kia, kết nối flapper

van và máy bơm chân không với sự gấp nếp của Dia25, và sử dụng KF25 nhanh chóng

kẹp cho cổng kết nối. .

2. Hệ thống phát hiện áp suất

Điện trở đơn loại ZDR-I / ZDR-I-LED

máy đo chân không

Máy đo chân không điện trở

(còn được gọi là máy đo chân không Pirani) sử dụng ZJ-52T ổn định đặc biệt

máy đo điện trở và áp dụng một chế độ hoạt động nhiệt độ không đổi mới cho

công suất không đổi. Đồng thời, bộ vi xử lý được sử dụng để điều khiển

tính phi tuyến của quy định. Xử lý tuyến tính. Nó có những đặc điểm

hiệu suất ổn định, dải đo rộng, phản hồi nhanh và độ lệch nhỏ. Và

điều khiển rơ le mạnh mẽ và đáng tin cậy dựa trên bộ vi xử lý, giao tiếp nối tiếp

đầu ra, đầu ra tương tự chân không và các chức năng khác. Đặc biệt thích hợp cho

đo chân không thô và thấp và kiểm soát các ứng dụng chân không.

Các thông số kỹ thuật:

*

Quy định phân phối: Máy đo điện trở ZJ-52T

*

Phạm vi đo: 10 5 ～ 10 -1 Pa

*

Cách ly quang học, lọc kỹ thuật số, tăng cường khả năng chống nhiễu.

*