Lò 1600C CVD với hệ thống cung cấp khí và hệ thống chân không

Sales

Quản lý kinh doanh:Andrea

E-mail: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechat: 18250801164

Chi tiết sản phẩm

Lò nung 1600C PECVD với hệ thống cung cấp khí và hệ thống chân không

Các

Hệ thống PECVD bao gồm một lò ống, một buồng chân không thạch anh, một chân không

hệ thống, hệ thống cung cấp khí đốt và hệ thống cung cấp điện tần số vô tuyến điện. Chủ yếu

được sử dụng cho: tăng trưởng màng mỏng kim loại, màng mỏng gốm, màng mỏng composite,

graphene, v.v. Có thể dễ dàng thêm các chức năng và có thể mở rộng các chức năng như

làm sạch và khắc plasma. Hệ thống PECVD có ưu điểm là màng cao

tỷ lệ lắng đọng, độ đồng đều tốt, tính nhất quán cao và ổn định.

Kỹ thuật chi tiết

thông số

Người mẫu

TL1600-I

Quyền lực

5KW

Kích thước ống （OD） (mm)

Ống corundum độ tinh khiết cao: 60mm (đường kính ống)

Hai phích cắm của lò được đặt ở mỗi bên. Các

nút lò có thể chặn bức xạ nhiệt ở giữa ống lò

và phải được đặt vào đúng vị trí trong lò trước khi gia nhiệt.

Kích thước

1120X490X855

Cung cấp hiệu điện thế

220V

giai đoạn

một giai đoạn

yếu tố làm nóng

1800 mô hình thanh molypden silicon

Loại kiểm soát nhiệt độ

Sử dụng

Dụng cụ điều khiển nhiệt độ chương trình Yudian (tiêu chuẩn)

Điều khiển nhiệt độ chương trình 30 đoạn điều chỉnh PID thông minh.

Với tính năng bảo vệ quá nhiệt, mạch làm nóng lò điện sẽ

được tự động cắt khi nhiệt độ quá nhiệt hoặc khi

vợ chồng tan vỡ. BẬT, đèn BẬT trên bảng điều khiển tắt, đèn TẮT sáng,

và lò điện được bảo vệ hạn chế).

Với giao diện giao tiếp 485 (tiêu chuẩn với phần mềm tùy chọn)

Nó có chức năng bảo vệ khi mất điện, tức là khi lò

bật nguồn sau khi tắt nguồn, chương trình không bắt đầu từ

nhiệt độ ban đầu, nhưng bắt đầu từ nhiệt độ lò khi điện

No tăt rôi.

5. cái

đồng hồ có chức năng tự điều chỉnh nhiệt độ

(bạn cần phải trả thêm tiền cho việc thay thế

dụng cụ, tùy chọn)

Thiết bị FP93 Thiết bị EUROTHERM Màn hình cảm ứng

dụng cụ

(shimaden, Nhật Bản)

Vật liệu buồng

1. Vật liệu lò sưởi được làm bằng chất lượng cao

alumin sợi đa tinh thể.

2. Bề mặt của lò bên trong được phủ bằng

nhập khẩu lớp phủ alumin nhiệt độ cao 1800 độ, có thể làm tăng

độ phát xạ và làm cho trường nhiệt độ cân bằng hơn.

Van và mặt bích

kiểm soát độ chính xác

+/- 1 ℃	Kích hoạt		Bộ kích hoạt dịch chuyển theo giai đoạn
thiết bị điện	Chiết Giang chint	kiểm soát silicon	106/16E SEMIKRON
			Tối đa nhiệt độ
		1600 ℃	Nhiệt độ định mức
			1550 ℃
	độ nóng		≤20 ℃ / Min (Có thể được sửa đổi theo yêu cầu)
	Tỷ lệ sưởi đề nghị		≤10 ℃ / phút
	Mô hình cặp nhiệt điện		Loại B
	Chiều dài của phần sưởi ấm		300mm
	Nhiệt độ bề mặt xung quanh		≤45 ℃
	Hệ thống chân không		VS-0,1
	Hệ thống chân không		VS-0,1
	hệ thống chân không có thể hút độ chân không trong ống lò ống đến 0,1Pa (và được trang bị máy đo chân không điện trở	trưng bày).	Với đèn LED màu xanh lá cây

màn hình hiển thị kỹ thuật số.

Nhận nuôi

Bơm chân không VRD16

VRD16

Thuật ngữ kỹ thuật

Sự chỉ rõ

VRD-16

Tốc độ bơm m³ / h （L / s）

50Hz	Φ6
16 m³ / giờ	4,4 L / s
60Hz	19,2 m³ / giờ
5,2 L / s	Giới hạn áp suất cục bộ - không có chấn lưu khí （Pa）
4x10-2	Giới hạn tổng áp suất - không có chấn lưu khí （Pa）
4x10-1	Giới hạn tổng áp suất - chấn lưu khí （Pa）
8x10-1	Φ6
Nguồn cấp	Một pha / ba pha

công suất động cơ （KW）

0,75 KW / 0,55 KW

Kết nối đầu vào / đầu raDN

KF25

dung tích dầu	0,9-1,5 L
tốc độ động cơ （vòng / phút）	50Hz
1440 vòng / phút	Hệ thống cung cấp khí
Khí ga	đồng hồ đo lưu lượng hệ thống cung cấp khí
Các thông số kỹ thuật:	1S
l Kênh khí nén: 6	l Điều khiển lưu lượng khí nén: sử dụng đồng hồ đo lưu lượng khối lượng.
l Kích thước tủ: 600X600X600mm	l Với màn hình LED
l Các thông số kỹ thuật của lưu lượng kế:	Giao diện
Trưng bày	DẪN ĐẾN
Đang làm việc	nhiệt độ môi trường
5 ~ 45 ℃	lưu lượng
người điều khiển	Proton

bộ điều khiển lưu lượng được sử dụng, vui lòng xem mặt sau

Không gỉ	6
ống thép	1
Φ6	6
bên ngoài X Φ4 bên trong	6
Sức ép	2
bàn hút chân không	6
-0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / div	Dừng lại
van nước	1
lưu lượng	điều khiển

PLC

điều khiển thông minh

Kỹ thuật	các thông số của Bộ điều khiển lưu lượng lớn:
Sản phẩm	mô tả: Loại thông thường, mạch tương tự
Sản phẩm	mô tả chi tiết: Loại thông thường, mạch tương tự, con dấu cao su, hình ống shunt, không dễ chặn.
Chính	các chỉ số:
Phạm vi	5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (bạn có thể chọn bất kỳ phạm vi nào) Vui lòng xác nhận khi
bạn đặt hàng	Sự chính xác± 1% F.S
Tuyến tính	0,5% F.S
Độ lặp lại	± 0,2% F.S
Phản ứng	thời gian
Hàng không	giảm áp suất
<0,01MPa	Tối đa