Hệ thống CVD phòng thí nghiệm với Lò nung ống quay vùng kép 1500-1500C

Sales Hệ thống CVD phòng thí nghiệm với Lò nung ống quay vùng kép 1500-1500C

Quản lý kinh doanh:Andrea

E-mail: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechat: 18250801164

  • :
  • :

Chi tiết sản phẩm  

Hệ thống CVD phòng thí nghiệm với Lò ống quay vùng kép 1500-1500C

Hệ thống CVD bao gồm hệ thống cung cấp khí + lò ống + hệ thống chân không, và nhiệt độ tối đa có thể đạt 1200 độ, 1400 độ, 1600 độ và 1700 độ. Vùng làm nóng có thể là vùng nhiệt độ đơn, vùng nhiệt độ kép, vùng nhiệt độ ba, v.v. Độ chân không cuối cùng có thể đạt 10-3Pa. Hệ thống cung cấp khí có thể là lưu lượng kế khối lượng hoặc lưu lượng kế phao để điều chỉnh lưu lượng. Số kênh trộn có thể là 2 kênh, 3 kênh, 4 kênh và 5 kênh.


Các thông số kỹ thuật chi tiết

Người mẫu

1500-1500-I 1500-1500-II

Quyền lực

9KW 9KW

Ống

kích thước

Dia

60 (OD) X1400 mm Dia 80 (OD) X1400 mm

Cung cấp

Vôn

380V 380V

Giai đoạn

pha kép pha kép

Ống

Ống Corundum: AIO có độ tinh khiết cao

gốm sứ (bao gồm cả) 99,5%

Sưởi

yếu tố

Ngày thứ nhất

vùng nhiệt độ: thanh cacbon silic Vùng nhiệt độ thứ hai: thanh cacbon silic

Tốc độ quay ống lò

Với động cơ tốc độ biến thiên vô cấp,

tốc độ có thể được điều chỉnh trong khoảng (1-25 RPM)

Công suất động cơ

40W

Lò có thể được nghiêng ở một góc

0-30 độ

Loại ổ

Dây đai và bánh răng có răng

Điều khiển

cách thức

Thiết bị điều khiển nhiệt độ chương trình UAV

(Tiêu chuẩn)


1, kiểm soát nhiệt độ chương trình 30 giai đoạn

điều chỉnh PID thông minh.

2. Với bảo vệ quá nhiệt, điện

mạch gia nhiệt lò tự động ngắt khi nhiệt độ

quá nhiệt độ hoặc bị hỏng, (khi nhiệt độ lò điện vượt quá

1520 độ hoặc cặp nhiệt điện bị thổi, rơle AC trên mạch chính

sẽ tự động ngắt, mạch chính bị hỏng. Bật, BẬT

đèn trên bảng điều khiển tắt, đèn TẮT sáng và khả năng bảo vệ hạn chế

Lò sưởi điện).

3, với giao diện giao tiếp 485 (tiêu chuẩn

khi mua phần mềm)

4, với chức năng bảo vệ khi tắt nguồn,

là, khi bật nguồn sau khi tắt nguồn, chương trình

không bắt đầu từ nhiệt độ ban đầu, nhưng nhiệt độ lò

tăng từ thời điểm mất điện.

5, đồng hồ có chức năng tự điều chỉnh nhiệt độ

(bạn cần phải trả thêm tiền cho việc thay thế

dụng cụ nhập khẩu, tùy chọn)

Dụng cụ FP93

Dụng cụ EUROTHERM

Màn hình cảm ứng

dụng cụ

(shimaden, Nhật Bản)



Vật liệu lò

1. Chất lượng cao alumin đa tinh thể có độ tinh khiết cao

lò đóng rắn sợi hình thành bằng phương pháp lọc chân không.

2. Áp dụng công nghệ Nhật Bản để đúc.

Điều khiển

sự chính xác

+/- 1 ℃

Kích hoạt

Chuyển pha

Kích hoạt

Điện

thiết bị

Chiết giang

chint

Silicon

kiểm soát

106 / 16ESEMIKRON

Các

nhiệt độ cao nhất ở vùng nhiệt độ thứ nhất và thứ hai

1500 ℃

Đã đánh giá

nhiệt độ ở vùng nhiệt độ thứ nhất và thứ hai

1400 ℃

Sưởi

tỷ lệ

≤20 ℃ / Min (nó có thể được sửa đổi theo yêu cầu)

Khuyến khích

tốc độ tăng nhiệt độ

≤10 ℃ / phút

Cặp nhiệt điện

S đánh máy đầu tiên

vùng nhiệt độ

S

gõ vào vùng nhiệt độ thứ hai

Chiều dài

của phần gia nhiệt ở vùng nhiệt độ thứ nhất và thứ hai

300 + 300mm 300 + 300mm

Chiều dài nhiệt độ không đổi

450mm 450mm

Bộ cấp khí ba kênh Gx-3 (hỗn hợp

Hệ thống không khí

1.1. Khí thoát ra khỏi xi lanh, là

được khử áp qua van giảm áp, đi qua ống PTFE

tới đầu vào của hệ thống cung cấp khí, và sau đó đi qua dòng khối lượng




đồng hồ để kiểm soát lưu lượng khí, sau đó đi qua thùng trộn khí và

sau đó đi vào đầu vào của lò.

1.2.

2)


Một đồng hồ áp suất được gắn vào bình trộn khí, và đồng hồ đo áp suất

đĩa hiển thị và bộ điều khiển lưu lượng kế proton được cài đặt trên cùng một

bảng điều khiển.

1.3.

Mỗi đường gas đều có van ngắt áp suất cao để đảm bảo an toàn.

1.4.

Đường dẫn khí sử dụng đồng hồ đo lưu lượng khối lượng khí có độ chính xác cao và bên trong

đường dẫn khí hoàn toàn bằng ống thép không gỉ, chống ăn mòn tốt

Sức cản.

1.5.

Tất cả các khớp trong hộp được kết nối bằng thép không gỉ, có

độ kín khí tốt và khả năng chịu áp suất cao.

2. Thông số kỹ thuật:

Kênh khí nén: 3

Kiểm soát dòng khí:

thiết bị đo lưu lượng.

Kích thước tủ:

600X600X600mm

Thiết bị đo lưu lượng

Các thông số kỹ thuật:

Giao diện: Φ6

Màn hình: LED

Nhiệt độ môi trường làm việc: 5 ~ 45 ° C

Bộ điều khiển dòng chảy:

Thông số bộ điều khiển lưu lượng Proton Vui lòng kiểm tra lại

Ống thép không gỉ:

Φ6 bên ngoài X Φ4

Áp suất chân không

bảng: -0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01

MPa / sự phân chia

Van chặn: Φ6

Kiểm soát dòng chảy: PLC

điều khiển thông minh

功率

3. Lưu lượng kế

电压

Các thông số kỹ thuật:

转速

Sản phẩm

Tên: Bộ điều khiển lưu lượng lớn

Sản phẩm

Mô tả: Loại bình thường, mạch tương tự

6

Sản phẩm

chi tiết: Thông thường, mạch tương tự, con dấu cao su, shunt hình ống, không dễ dàng

khối.

Chính

chỉ báo: Phạm vi: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (bạn có thể chọn phạm vi tùy ý)

Độ chính xác: ± 1% F.S

Tuyến tính: 0,5% F.S

Độ lặp lại: ± 0,2% F.S

Thời gian phản hồi: 1S

Giảm áp suất không khí: <0,01MPa

Áp suất tối đa: 3MP

Nhiệt độ môi trường làm việc: 5 ~ 45 ° C

Tín hiệu đầu vào và đầu ra: 0 ~ + 5.00V

Nguồn: + 15V 50mA -15V 50mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Kích thước: 158 * 30 * 110

Trọng lượng: 0,9 Kgg



Tags :
Leave A Message
If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.
X

Home

Supplier

Leave a message

Leave a message

If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.